证券之星消息,根据天眼查APP数据显示高华科技(688539)新获得一项发明专利授权,专利名为“MEMS压阻式压力传感器及其制备方法”,专利申请号为CN202310983665.8,授权日为2026年7月31日。
专利摘要:本公开的实施例公开了一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法,包括第一衬底、第二衬底、第一钝化层、第二钝化层、第一逆压电单元、压阻单元和第一引线及焊盘;第一衬底设置有空腔,并固定于第二衬底;第一钝化层设置于第一衬底背离第二衬底的一侧,内嵌有与空腔相对应的压阻单元;第一逆压电单元设置于第一钝化层背离第二衬底的一侧;第一逆压电单元、第一钝化层以及压阻单元对应空腔的区域形成压力敏感薄膜;第二钝化层设置于第一逆压电单元背离第一衬底的一侧,第二钝化层背离第二衬底的一侧设置有第一引线及焊盘,分别与压阻单元和第一逆压电单元电连接。本公开实施例的压力传感器,能有效提高传感器的线性度、量程以及抗过载能力。
今年以来高华科技新获得专利授权2个,与去年同期持平。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了7455.5万元,同比增14.2%。
通过天眼查大数据分析,南京高华科技股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目118次;财产线索方面有商标信息14条,专利信息161条,著作权信息4条;此外企业还拥有行政许可14个。
数据来源:天眼查APP
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